发布时间：2025-03-15
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| 参数名称 | 参数值 |
|---|---|
| 不锈钢真空腔体 | 4英寸真空卡盘，8英寸腔体，高增透4英寸石英窗口； |
| 实测真空度 | 优于10^-5 Pa@分子泵 |
| 配置压力表 | 实时显示当前气压值 |
| 漏电流精度 | ＜100fA |
| 高精度三同轴直流探针座 | 4个，位移调节精度高达1μm |
| 高精度射频探针座 | 数量2，SMA接口，标准射频探针夹具，位移调节精度高达1μm |
| 测试环境特性 | 整体满足40G高频真空环境测试 |
| 其他配置 | 高清单筒金相显微镜，4K数字成像相机，24英寸高清4K显示器，整体多维度调节 |
| 稳定性相关设备 | 精密气浮式隔振底台，大功率超静音低振空压机，保证测试平台整体稳定无振动 |
| 交付地点 | 东南大学 |
| 交付时间 | 2025年3月15日 |
| 交付产品 | 精密型真空直流/射频探针台 |
| 相关产品 | 我司专业提供高真空探针台产品，配合高低温及拉伸模块（手动/电动）满足多种不同应用场景测试，是高精密真空环境测试的理想之选。 |
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