发布时间：2020-11-12
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| 参数名称 | 参数值 |
|---|---|
| 实测真空度 | <1pa（达0.17pa@机械泵) |
| 控温范围 | -140℃~600℃ |
| 控温精度 | ±1℃ |
| 温度均匀性 | ±3 ℃ |
| 探针位移调节 | 定位精度2um，分辨率3um，单轴直线度±2um |
| 漏电流精度 | 100fA |
| 样品台 | 4英寸紫铜材质样品台，平面度5um |
| 真空腔体 | 直径8英寸，高度7英寸的304材质真空室 |
| 交付地点 | 南京理工大学 |
| 交付时间 | 2020年11月12日 |
| 交付产品 | 高低温真空探针台 |
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