发布时间：2022-10-11
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| 参数名称 | 参数值 |
|---|---|
| 真空吸附卡盘 | 4英寸 |
| 样品台位移精度 | <3μm |
| 探针座位移精度 | ＜3μm |
| 漏电流精度 | ＜100fA |
| 探针座数量 | 4个 |
| 交付地点 | 南京大学 |
| 交付时间 | 2022年10月11日 |
| 交付产品 | 精密型基础测试探针台 |
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