探针台又称探针测试台,主要用途是为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台,探针台可吸附多种规格芯片,并提供多个可调测试针以及探针座,配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测。适用于对材料、芯片等进行科研实验分析,抽查测试等用途。
TLRH系列精密型基础测试探针台(金相款)是我司根据高校科研及产业研发需要,而特定设计的一款高精密高稳定探针台,其较高的位移调节精度及优异的漏电精度控制,已成为包括场效应管在内的多端器件IV测试的理想之选。相比常规款TLRH精密基础测试探针台,TLRH精密型基础测试探针台(金相款)将体式显微镜升级为成像效果更好的金相显微镜,以方便更小尺寸样品的观察与扎针。
● 模块化设计,可以搭配不同构件完成不同测试;
● 最大可用于12英寸以内样品测试;
● 探针台整体位移精度高达3μm,样品台精密四维调节;
● 兼容多种光学显微镜,可外引光路实现光电mapping测试;
● 满足1μm以上电极/PAD使用;
● 漏电精度可达10pA/100fA(屏蔽箱内);
● 探针座采用进口交叉滚珠导轨,线性移动,无回程差设计;
● 加宽探针放置架,可放置6个DC探针座/4个RF探针座;
● 配显微镜二维精密调节功能,且可选配多种行程及驱动方式。
光学隔振平台(台面>600mm*600mm)、一台计算机(标准VGA接口和USB接口)、吉时利2400数字源表(含软件)等。
测试时连接探针台和数字源表,探针接被测物体,通过显微镜观察确定两根探针是否紧贴被测物表面,待连接导通后打开源表软件,选好参数即可出该触点的I-V性能曲线。
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谱量光电可根据客户实际应用需求,定制配套探针台系统,以达更好的测试效果及更高的性价比,具体信息可联系详询。