简易型基础测试探针台

TLRS系列简易型基础测试探针台是我司根据产业用户生产检测需要，而特定设计的一款简易便携高性价比探针台，满足产线基本电学参数测试同时兼顾低成本优势，已成为工业生产领域批量检测的理想之选。

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产品介绍

探针台又称探针测试台，主要用途是为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台，探针台可吸附多种规格芯片，并提供多个可调测试针以及探针座，配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测。适用于对材料、芯片等进行科研实验分析，抽查测试等用途。

TLRS系列简易型基础测试探针台是我司根据产业用户生产检测需要，而特定设计的一款简易便携高性价比探针台，满足产线基本电学参数测试同时兼顾低成本优势，已成为工业生产领域批量检测的理想之选。

技术优势：

● 结构紧凑，功能实用，高性价比;
● 样品台XYZR四维调节，整体分辨率10μm，360°旋转可锁紧;
● 满足1μm以上电极/PAD使用;
● 兼容多种显微镜，可引入光路，完成光电mapping测试;

● 漏电精度可达10pA/100fA（屏蔽箱内）;
● 精密传动机构，线性移动，无回程差设计;
● U型探针架, 可以放置多个探针座;
● 整体尺寸小，方便携带，底部蜂窝隔振板，提高测试稳定性。

细节展示：

简易型探针台介绍.jpg

详细模块配置及参数说明：

名称	型号	单位	数量	参数
探针台台体	PBL	套	1	底部隔振面包板，带橡胶隔振地脚，有效隔绝Z轴微振；四维调节样品架，XY轴行程110/150mm，Z轴行程10mm，整体分辨率10μm，360°旋转可锁紧； U型探针架，可放置多个探针座。
探针座	TPLS-UP	套	2	三维调节，整体调节精度10μm（可选配0.5μm，1μm，3μm）；测量范围：10pA/100fA(屏蔽箱环境)-10A；行程：XYZ行程分别13mm；固定方式：可调磁吸吸附，真空吸附，螺丝固定；配置线缆：同轴线缆（漏电精度10pA）/三同轴线缆（漏电精度100fA）。
显微成像模块	ST51	套	1	体式显微镜；放大倍率：40.2~270倍；图像传感器：2000万像素，支持电脑控制，拍照录像，HDMI输出；目镜：采用高眼点超广角目镜，视场Φ23mm；外置高亮无极调节亮度环形LED光源；配置显微镜万向支架；高清显示器及显示器万向支架；可搭配XY二维调节装置，行程25×25mm，分辨率3μm；可据需求选配如电子显微镜、高分辨金相显微镜等。
真空吸附卡盘	PVS-04	套	1	台面尺寸：4/6英寸可选，不锈钢材料底；标配进口无油真空泵，吐出空气量7L/min,长期稳定运行；环形吸附模式，增强吸附力；背电极设计：可引出背电线；真空吸附套装附件。
探针	PTR-03	盒	1	钨钢探针：长38mm，直径0.5mm，可测电流范围，1fA-1A，针尖直径可选（1/3/5/10/30/50/150/300/500μm）；钨钢镀金探针：长38mm，直径0.5mm，可测电流范围，1fA-1A，针尖直径可选（1/3/5/10/30/50/150/300/500μm）；镀金软针：长51mm，可测电流范围，1fA-1A，针尖直径可选（5/10/30/50/125μm)。

常规选型：

产品型号	样品台尺寸	样品台X移精度	样品台Y移精度	漏电流精度	探针座数量
TLRS-04	4英寸	10μm	10μm	10pA	2个
TLRS-06	6英寸	10μm	10μm	10pA	2个

实验附件及常规测试步骤：

光学隔振平台(台面>600mm*600mm)、一台计算机(标准VGA接口和USB接口)、吉时利2400数字源表（含软件）等。

测试时连接探针台和数字源表，探针接被测物体，通过显微镜观察确定两根探针是否紧贴被测物表面，待连接导通后打开源表软件，选好参数即可出该触点的I-V性能曲线。

应用领域：

半导体材料光电检测功率器件测试MEMS测试PCB测试液晶面板测试测量表面电阻率测试精密仪器生产检测航空航天实验

谱量光电可根据客户实际应用需求，定制配套探针台系统，以达更好的测试效果及更高的性价比，具体信息可联系详询。

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