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万向型5μm探针座

万向型探针座夹具具备多角度调整能力,可轻松锁定角度,适用于需要非标准直线方向扎针的复杂测试场景,常用于不规则器件或需要特殊定位的样品。

产品介绍

探针座作为探针台的核心部件,主要用途是连接探针和线缆,为半导体芯片的电参数测试提供一个导通条件,从调节精度上来区分可分为10μm/5μm/3μm/1μm/0.5μm等,从操作方式来区分可分为手动和电动,此外根据应用场景的不同又可分为通用型探针座/万向型探针座/L型探针座等,广泛应用于半导体及光电行业的电学参数测试。

万向型探针座夹具具备多角度调整能力,可轻松锁定角度,适用于需要非标准直线方向扎针的复杂测试场景,常用于不规则器件或需要特殊定位的样品。

技术优势:

  • ● 主体材质采用进口航空铝,表面喷砂氧化,优异的机械性能

  • ● 采用进口交叉滚珠导轨,保证良好的稳定性

  • ● 整体采用进口高分辨率微分头,提高整体位移精度

  • ● 配万向调节夹具,可实现360°旋转及360°倾斜调节(可锁紧)

  • ● 探针夹具镀金处理,适合测试IV等电学测试

  • ● 底部超强可调磁性底座,磁性吸附可达5Kg,保证扎针稳定性

细节展示:

万向型05μm探针座细节展示.jpg

技术参数:

参数指标
探针位移行程XYZ三维分别13mm,360°旋转,任意角度倾斜(可锁紧)
整体结构外形尺寸(91-230)mm*65mm*160mm(LWH)
探针整体位移精度5μm
漏电精度10pA@同轴线缆, 100fA@进口三同轴线缆
可选接头同轴线缆(BNC、鳄鱼夹、香蕉插头)/进口三同轴线缆(三同轴接口)
测量范围电流:10pA/100fA~10A,电压:最大1400V

常规选型:

产品型号调节精度配套线缆漏电流精度
TPLS05-UN5μm同轴线缆
(可选BNC/鳄鱼夹/香蕉插头)
10pA
TPLS05H-UN5μm三同轴线缆100fA

应用领域:

适用于R/F测量I/O点测量直流DC测试晶圆测试电阻电压测试太阳能电池测试光电流测试半导体器件分析测试

谱量光电可根据客户实际应用需求,定制配套探针台系统,以达更好的测试效果及更高的性价比,具体信息可联系详询。

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