共聚焦显微拉曼光谱系统

Prms共聚焦显微拉曼光谱系统是谱量光电依托多年光谱仪器研发与行业应用经验全自主开发的高端显微拉曼材料表征平台。该设备融合超高分辨率光学显微成像与高精度拉曼光谱检测技术，搭载一体化高稳定显微测试光路与高速高分辨面扫描核心模块。

共聚焦显微拉曼光谱系统

Prms共聚焦显微拉曼光谱系统，是由谱量光电依托多年光谱仪器研发与行业应用经验全自主开发的高端显微拉曼材料表征平台。

该设备融合超高分辨率光学显微成像与高精度拉曼光谱检测技术，搭载一体化高稳定显微测试光路与高速高分辨面扫描核心模块。系统标配大行程高精度电动XY扫描台，支持微米级高分辨逐点光谱Mapping采集；同步集成闭环控制电动Z轴模组，搭配我司自研智能视觉识别对焦算法，自动补偿由样品起伏、光路偏移带来的离焦问题，从根源避免无效空采、光谱信号衰减失真，保障整片扫描区域光谱数据均匀完整、结果稳定且具备高度可复现性，广泛适用于二维材料、功能薄膜、光电半导体等微区样品无损表征需求。

技术优势：

光纤共焦技术，高信噪比
激发光功率多档可调，适配不同样品
LED科勒照明光路，视场均匀成像清晰
可实现532nm/785nm二合一光路设计
集成电动Z轴模组，实现自动识别对焦

应用领域：

低维材料结构表征
半导体光电器件微区分析
光电器件微纳结构检测
微观物质分布及缺陷表征
新能源催化材料结构研究

细节展示：

技术参数：

型号	Prms-X-532	Prms-X-785	Prms-XD
激发波长	532nm	785nm	532nm&785nm
激光功率	>100mW@532nm；>200mW@785nm
拉曼光谱范围	120~3200cm^-1@制冷型光纤光谱仪；100~10000cm^-1@深制冷三光栅光谱仪
拉曼光谱分辨率	≤10cm^-1@制冷型光纤光谱仪，~1.5cm^-1@深制冷三光栅光谱仪
空间分辨率	≤500nm@100X / 532nm，≤800nm@100X / 785nm
激发光斑直径	≤1μm@100X / 532nm，≤1.5μm@100X / 785nm
电控扫描台	行程75mm*50mm，最小步距0.01μm，双向重复精度<1μm
物镜	5X, 10X, 20X, 50X, 100X
显微成像	LED科勒照明光路，500万像素成像单元
探测器	制冷型光纤光谱仪（204864，-10°C）/ 深制冷三光栅光谱仪（20482048，-70°C）
软件	拉曼光谱测量，mapping测量，显微成像，自定义测量点及扫描区域，支持多格式数据存库，支持数据二次导入分析处理，支持API数据调用等
可选配件	633nm激发，电动Z轴模块（自动补焦），偏振拉曼，荧光寿命模块，真空低温等