精密型光电测试探针台

TLPH系列精密型光电测试探针台是基于TLRH系列升级激光显微镜而来，实现高分辨率成像的同时兼顾外引激光光路，实现光电流与IV的双功能检测，是光电芯片/器件测试的理想之选。

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产品介绍

探针台又称探针测试台，主要用途是为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台，探针台可吸附多种规格芯片，并提供多个可调测试针以及探针座，配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测。适用于对材料、芯片等进行科研实验分析，抽查测试等用途。

技术优势：

● 模块化设计，可以搭配不同构件完成不同测试；
● 最大可用于12英寸以内样品测试；
● 探针台整体位移精度高达3μm，样品台精密四维调节；
● 激光显微镜，5档物镜转盘，可引入激光完成光电流测试；
● 满足1μm以上电极/PAD使用；

● 漏电精度可达10pA/100fA（屏蔽箱内）；
● 探针座采用进口交叉滚珠导轨，线性移动，无回程差设计；
● 加宽探针放置架，可放置6个DC探针座/4个RF探针座；
● 配显微镜二维精密调节功能，且可选配多种行程及驱动方式。

细节展示：

详细模块配置及参数说明：

名称	型号	单位	数量	参数
探针台台体	PBL	套	1	底部蜂窝隔振面包板，尺寸450mm600mm50mm，带橡胶隔振地脚，有效隔绝Z轴微振；四维调节样品架，XY轴行程110mm，Z轴行程10mm，整体分辨率3μm，360°粗调，±5°精调；两边龙门架结构，尺寸：300mm150mm190mm。
探针座	TPLS-UP	套	2	三维调节，整体调节精度3μm（可选配0.5μm，1μm）; 测量范围：10pA/100fA(屏蔽箱环境)-10A；行程：XYZ行程分别13mm；固定方式：可调磁吸吸附；探针夹持角度：偏摆60°；配置线缆：同轴线缆（漏电精度10pA）/三同轴线缆（漏电精度100fA）。
显微成像模块	ST61	套	1	高分辨激光成像显微镜，可外引激光，配置5X、10X、20X、50X物镜（可选），五档位物镜转盘；图像传感器：2000万像素，支持电脑控制，拍照录像，HDMI输出；目镜：采用高眼点超广角目镜，视场Φ23mm；照明光源：白色LED照明：同轴照明系统，选用高亮度单颗3W LED，色温5500K，照明均匀；LED照明控制器90V-250V宽电压3W LED控制器，可调光；集成 XY 位移台以及精密升降台，行程 25mmx25mmx50.8mm 升降，精度 3μm；
真空吸附卡盘	PVS-04	套	1	台面尺寸：4/6/8/12英寸可选，不锈钢材质； 4英寸3个吸附孔，6/8英寸4个吸附孔，12英寸5个吸附孔；标配进口无油真空泵，吐出空气量7L/min,长期稳定运行；搭配聚四氟材质旋转可锁紧装置，分离锁紧，360°旋转；背电极设计：可引出背电极；吸附孔圆槽设计，增强吸附能力；单独吸附孔道，独立真空吸附开关；真空吸附套装附件。
探针	PTR-03	盒	1	钨钢探针：长38mm，直径0.5mm，可测电流范围，1fA-1A，针尖直径可选（1/3/5/10/30/50/150/300/500μm）；钨钢镀金探针：长38mm，直径0.5mm，可测电流范围，1fA-1A，针尖直径可选（1/3/5/10/30/50/150/300/500μm）；镀金软针：长51mm，可测电流范围，1fA-1A，针尖直径可选（5/10/30/50/125μm)。

常规选型

产品型号	样品台尺寸	样品台位移精度	探针座位移精度	漏电流精度	探针座数量
TLPH-04	4英寸	3μm	3μm	100fA	3个
TLPH-06	6英寸	3μm	3μm	100fA	3个
TLPH-08	8英寸	3μm	3μm	100fA	3个
TLPH-12	12英寸	3μm	3μm	100fA	3个

实验附件及常规测试步骤：

光学隔振平台(台面>600mm*600mm)、一台计算机(标准VGA接口和USB接口)、吉时利2400数字源表（含软件）等。

测试时连接探针台和数字源表，探针接被测物体，通过显微镜观察确定两根探针是否紧贴被测物表面，待连接导通后打开源表软件，选好参数即可出该触点的I-V性能曲线。

应用领域：

半导体材料光电检测功率器件测试MEMS测试PCB测试液晶面板测试测量表面电阻率测试精密仪器生产检测航空航天实验

谱量光电可根据客户实际应用需求，定制配套探针台系统，以达更好的测试效果及更高的性价比，具体信息可联系详询。

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