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高精度电动探针座

谱量高精度电动探针座基于高精度电动位移装置,兼容 5 相步进电机,搭配五相高精度高分辨率驱动器,低速无抖动,实现微米级定位;谱量光电可以按客户的需求匹配不同系列的探针座以及控制,与客户现有设备完美结合。

产品介绍

      谱量高精度电动探针座基于高精度电动位移装置,兼容 5 相步进电机,搭配五相高精度高分辨率驱动器,低速无抖动,实现微米级定位;谱量光电可以按客户的需求匹配不同系列的探针座以及控制,与客户现有设备完美结合。

产品特点:

  • ● 搭配我司多轴运动控制系统以及运动手轮组合,轻松实现多轴联动以及单轴运动匹配。

  • ● 单个控制器最多可以连接三个探针座,实现 9 个自由度的组合自动位移。

  • ● 软件交互界面非常清晰,可以单轴操作,也可以同时勾选任意轴进行同时操作,支持一键多轴/单轴回零。

  • ● 可以独立的操作某一个轴,也可以多个轴组合运动;每个轴的速度可以单独控制。

  • ● 匹配多种自动控制,实现多轴联动以及多轴插补运动,同时支持阵列运动以及导入 CAD 图纸功能。

  • ● 可以满足自动生产线和自动实验设备的功能需要。

产品硬件:

参数名称 指标
探针位移行程 XYZ 三轴行程:15mm × 15mm × 15mm
匹配电机 匹配高分辨率高精度五相步进电机:分辨率 1.5μm
升降调节 具备升降手动调节功能:调节行程 15mm,分辨率 0.5μm
移动速度 最大速度:10mm/s,包含正负限位和原点
固定方式 底部磁性可调底座:通过旋钮调节磁性有无,匹配3种夹具和2种线缆

产品软件:

  • ● 需要搭配我司高精密运动控制器

  • ● 可以实时读取运动状态,绝对坐标、相对坐标、工作坐标

  • ● 支持二次开发,用户可自行搭建自己的运动控制系统

手动操作

支持多轴以不同速度多轴/单轴运动;

支持轴点动、连续运动;

支持点选归零。

高细分数微步

支持零位偏移功能;

支持相对运动、绝对运动、点动、用户坐标运动;

支持多轴联动等功能。

自动控制

支持任意单轴/多轴以不同速度、不同移动距离形式联动/点动;

编程运动,完成多种插补运动;

可以设置循环次数。

图纸运行

可以支持图纸编辑不同轴;

以不同速度等参数完成设置好的运行轨迹;

也可以导入 CAD 图纸。

操作方式:

目前我司高精度电动探针座提供两种操作方式,可适配不同的操作环境和操作习惯。

操作一

通过运动手轮组控制五相步进电机操作探针座

运动手轮(压缩).png

01 运动手轮

精密运动控制器-3(1).png

02 步进电机

电动探针座正面PNG(小).png


03 探针座

操作二

通过软件控制五相步进电机操作探针座

精密运动控制软件界面.png

01 软件

精密运动控制器-3(1).png

02 步进电机

电动探针座正面PNG(小).png

03 探针座

常规选型:

产品型号 调节精度 配套线缆 最大速度 漏电流精度
TPES-UP ~1μm 三同轴线缆/同轴线缆 10mm/s 100fA/10pA

应用领域:

适用于R/F测量I/O点测量直流DC测试晶圆测试电阻电压测试太阳能电池测试光电流测试半导体器件分析测试

谱量光电可根据客户实际应用需求,定制配套探针台系统,以达更好的测试效果及更高的性价比,具体信息可联系详询。

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