原位高精度电动拉伸探针台

随着近年来柔性电子材料与器件及压电薄膜材料等领域的日渐崛起，如柔性可穿戴传感器，人机交互、储能换能器件、软体智能机器等应用更是吸引众多研究者的关注。针对该研究领域，我司特开发TLPS-E系列原位高精度电动拉伸探针台产品，为柔性薄膜材料、压电材料等相关提供研究解决方案，是研究材料不同曲率条件下光电特性变化的有力工具。

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产品介绍

探针台又称探针测试台，主要用途是为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台，探针台可吸附多种规格芯片，并提供多个可调测试针以及探针座，配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测。适用于对材料、芯片等进行科研实验分析，抽查测试等用途。

随着近年来柔性电子材料与器件及压电薄膜材料等领域的日渐崛起，如柔性可穿戴传感器，人机交互、储能换能器件、软体智能机器等应用更是吸引众多研究者的关注。针对该研究领域，我司特开发TLPS-E系列原位高精度电动拉伸探针台产品，为柔性薄膜材料、压电材料等相关提供研究解决方案，是研究材料不同曲率条件下光电特性变化的有力工具。

技术优势：

● 样品台XY二维手动调节，整体调节精度达3μm；
● 超薄四轴电动拉伸台，重复定位精度高达1μm;
● 顶丝夹持式夹具，四向固定，也可根据实验需求定制；
● 激光显微镜，5档物镜转盘，可引入激光完成光电流测试；
● 显微镜电动调焦，行程150mm，重复定位精度高达1μm;

● 集成式电动控制器，上位机及高精度手柄;控制；
● 标配3个3μm精度直流探针座（可选配）；
● 漏电精度可达10pA/100fA（屏蔽箱内）;
● 配置显微镜XY二维辅助调节，行程50mm，调节精度3μm。

细节展示：

原位高精度电动拉伸探针台.jpg

详细模块配置及参数说明：

名称	型号	单位	数量	参数
探针台台体	MPT-H	套	1	底部蜂窝隔振面包板，带橡胶隔振地脚，有效隔绝Z轴微振二维调节样品架，XY轴行程110mm，整体分辨率3μm 两边龙门架结构，尺寸：300mm150mm190mm
探针座	TPLS-UP	套	3	三维调节，整体调节精度3μm（可选配0.5μm，1μm）测量电流：10pA/100fA（屏蔽箱环境）-10A 行程：XYZ行程分别13mm 固定方式：可调磁吸吸附；探针夹持角度：偏摆60°；配置线缆：同轴线缆（漏电精度10pA）/三同轴线缆（漏电精度100fA）。
显微成像模块	LMU-FB	套	1	高分辨激光成像显微镜，可外引激光，配置5X、10X、20X、50X物镜（可选），五档位物镜转盘；图像传感器：2000万像素，支持电脑控制，拍照录像，HDMI输出；照明光源：白色LED照明：同轴照明系统，选用高亮度单颗3W LED，色温5500K，照明均匀；LED照明控制器90V-250V宽电压3W LED控制器，可调光；集成 XY 手动位移调节以及电动升降调焦，XY行程50mm，调节精度3μm，升降行程150mm，精度达1μm；
原位电动四轴拉伸台	HST-04	套	1	四轴电动控制，行程50mm，台面尺寸40*25mm；重复定位精度达1μm，运行平稳度0.01mm；四轴运动控制器，上位机及高精度手柄控制；支持二次开发协议以及基于Labview程序开发定制；
探针	PTR-03	盒	1	钨钢探针：长38mm，直径0.5mm，可测电流范围，1fA-1A，针尖直径可选（1/3/5/10/30/50/150/300/500μm）；钨钢镀金探针：长38mm，直径0.5mm，可测电流范围，1fA-1A，针尖直径可选（1/3/5/10/30/50/150/300/500μm）；镀金软针：长51mm，可测电流范围，1fA-1A，针尖直径可选（5/10/30/50/125μm)。

常规选型：

产品型号	样品台位移精度	拉伸台行程	拉伸台位移精度	漏电流精度	探针座数量	选配
TLPS-E	3μm	50mm	1μm	100fA	3个	精确控温台

应用领域：

柔性电子材料与器件压电薄膜半导体压电材料柔性科穿戴器件换能器压电传感

谱量光电可根据客户实际应用需求，定制配套探针台系统，以达更好的测试效果及更高的性价比，具体信息可联系详询。

标签：探针台