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通用型0.7μm探针座

通用型探针座,探针夹具设计更为通用,适用于多种标准化测试任务。如测试样品电极分布较为规整,无需特殊角度扎针测试,可优先选择通用型探针座

产品介绍

探针座作为探针台的核心部件,主要用途是连接探针和线缆,为半导体芯片的电参数测试提供一个导通条件,从调节精度上来区分可分为10μm/5μm/3μm/1μm/0.5μm等,从操作方式来区分可分为手动和电动,此外根据应用场景的不同又可分为通用型探针座/万向型探针座/L型探针座等,广泛应用于半导体及光电行业的电学参数测试。

通用型探针座,探针夹具设计更为通用,适用于多种标准化测试任务。如测试样品电极分布较为规整,无需特殊角度扎针测试,可优先选择通用型探针座

技术优势:

  • ● 主体材质采用进口航空铝,表面喷砂氧化,优质的机械性能;

  • ● 采用进口交叉滚珠导轨,超高稳定性;

  • ● 采用进口高分辨率微分头驱动,提高整体位移精度;

  • ● 多功能调节夹具,可以实现180°旋转及60°定向倾斜调节;

  • ● 适用于在显微镜下定向调节探针,无阻碍遮挡;

  • ● 底部超强可调磁性底座,磁性吸附可达10Kg,保证针的稳定性;

  • ● 可选配升级真空吸附,搭配7L/min真空泵。

细节展示:

通用型0.7μm探针座细节展示.jpg

技术参数:

参数名称指标
探针位移行程XYZ三维分别13mm,180°旋转,精密60°角度倾斜(可锁紧)
整体结构外形尺寸300mm*82mm*120mm (LWH)
探针位移精度0.7μm
漏电精度10pA@同轴线缆, 100fA@进口三同轴线缆
可选接头同轴线缆 (BNC, 鳄鱼夹, 香蕉插头) / 进口三同轴线缆 (三同轴接口)
测量范围电流:10pA/100fA~10A,电压:最大1000V

常规选型:

产品型号调节精度配套线缆漏电流精度
TPLS007-UP0.7μm同轴线缆
(可选BNC/鳄鱼夹/香蕉插头)
10pA
TPLS007H-UP0.7μm三同轴线缆100fA

应用领域:

适用于R/F测量I/O点测量直流DC测试晶圆测试电阻电压测试太阳能电池测试光电流测试半导体器件分析测试

谱量光电可根据客户实际应用需求,定制配套探针台系统,以达更好的测试效果及更高的性价比,具体信息可联系详询。

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