• 直径8英寸，高度7英寸的304材质真空室；

• 上盖带4英寸石英观察窗；

• 下法兰带固定端，与光学平台连接；

• 直径为4英寸的紫铜材质样品台，平整度5μm

• 1个KF40抽真空排气口，3个CF16充气口，1个KF16电阻规接口，1个KF16放气口，1个KF40预留接口，1个DN63 BNC真空贯穿接口，2个冷却液接口，4个探针座接口,2个电源接口

• 位移方向XYZ三轴,采用交叉滚柱导轨,产品定向性能稳定；

• 采用精密研磨丝杆M3*0.5分辨率高，配合做大手轮；

• 行程：X轴40mm，Y轴40mm，Z轴40mm；

• 分辨率3μm，重复定位精度±2μm，单轴直线度±2μm，自重1.5Kg，负载5.5Kg；

• 三同轴探针夹具 漏电精度100fA，接三同轴公接口，陶瓷结构；

• 探针臂，采用304不锈钢光轴，保证水平的准直度和刚性；

• 探针臂移动真空密封装置，配置可压缩50mm的焊接波纹管，保证寿命可靠运行100万次；

• 配备美国进口三轴线缆，低漏流，高精度，满足大部分器件测试分析。

• 光学隔振平台专门设计的水平减震机构，隔振基础采用二层气囊隔离，空气隔离器利用空气阻尼技术在各个方向上都提供了优异的减振性能，减振器自身的自然振动频率非常低，防止由瞬变干扰产生的摇摆；

• 稳定轻松调节，稳定可靠结构十分紧凑；

• 平面度＜0.10mm/m²；

• 固有频率垂直1.2Hz～1.8Hz,水平1.2Hz～1.8Hz；

• 振幅＜1.2μm；

• 重复定位精度±0.05mm。

• 配高清成像CCD，采用USB连接电脑，2000万像素，可以拍照录像；

• 控温系统采用日本岛电控温仪表配置温控线圈。热电偶形变成材，环PID控温和自整定温补调节，智能化30段程序编程控制，控温精度可达±1°C，显示精度1°C，温度均匀性±3°C；

• 最高温度600°C，最低温度-142°C；

• 高温部件构成及低温部件构成

1、真空机械泵采用中韩合资型号TRP-36，9L/s抽速，自带防返油阀门，KF25接口，KF25排气口，配有油雾过滤器。极限真空度优于5Pa；

• 配置KF40手动真空挡板阀，波纹管密封，性能 可靠，外观大气，手感好；放气阀配置KF16手动放气阀，体积小巧，性能可靠；所有真空管道采用不锈钢液压波纹管，具备很好的柔韧度，消除机械泵震动所带给探针台的影响。

• 真空测量配置国产成都睿宝电阻真空计，安装1个全金属KF16电阻规

2、配风冷复合分子泵+机械泵，设备真空度在分子泵启动到400Hz后优于3*10-3Pa，30分钟以内优于5*10-4Pa，极限真空度3*10-5Pa。机组为可移动台式小车结构，能够满足不同位置排气需要。

• 分子泵：JTFB-600，抽速600L/s的国产风冷复合分子泵；

• 机械泵：TRP-3，抽速3L/s的合资机械泵；

• 复合真空计：PDF-5227，CF35电离规和KF16电阻规；

• 转接真空室：CF100—KF40，高度200mm；