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三线摆式高性能气浮隔振光学平台

谱量光电研发生产的三线摆式高性能气浮隔振光学平台,是我司结合多年在隔振领域的研发及应用经验,为超高精密实验需求开发的一款高性能气浮隔振平台,对标业内一线品牌,支腿为独立式圆腿支撑,无整体共振,内部三线摆设计可将振动隔离到更低的水平,并在受到干扰后实现高精度工作台重新定位,层流阻尼技术大大提高阻尼效率,混合腔设计极大增加给定尺寸下的柔性体积,同时有效降低了固有频率。

产品介绍

  谱量光电研发生产的三线摆式高性能气浮隔振光学平台,是我司结合多年在隔振领域的研发及应用经验,为超高精密实验需求开发的一款高性能气浮隔振平台,对标业内一线品牌,支腿为独立式圆腿支撑,无整体共振,内部三线摆设计可将振动隔离到更低的水平,并在受到干扰后实现高精度工作台重新定位,层流阻尼技术大大提高阻尼效率,混合腔设计极大增加给定尺寸下的柔性体积,同时有效降低了固有频率。

  平台标配大功率优质超静音压缩机。上面板采用优质高导磁430不锈钢具有重量轻、高刚度、高阻尼等优点,经精密研磨处理平面度高,回旋打磨工艺清除毛边达到无反射、亚光效果,面板具有M6阵列螺孔,易于固定光学元件,是超高精密科研实验的理想之选。

技术优势:

  • ● 微米级层流阻尼

  • ● SMC 纳米级高流量气动执行元件

  • ● 高性能气动减振器,共振频率最低 1Hz

  • ● 支腿顶部配有安全连接件,大大提升安全性

  • ● 混合腔设计最大程度的提高了工作稳定性与极低的固有频率

  • ● 三线摆设计最大程度隔离振动并在受到干扰后实现高精度复位

  • ● 顶部调节装置可轻松完成±10mm 调节

  • ● 行业领先的蜂窝粘接焊接专利技术

技术参数:

参数名称参数指标
平面度≤0.05mm/m²
表面粗糙度<0.8μm
固有频率垂直<1.0-1.5Hz;水平<1.0-1.5Hz(同实际负载相关)垂直共振低至 1Hz
减振效率垂直:5Hz 时:85-90%;10Hz 时:91-96%水平:5Hz 时:87-92%;10Hz 时:92-97%
振幅<2μm
孔距公差±0.05mm
螺孔规格M6(公制)
螺孔公差±0.03mm
载荷能力300Kg/m²
台面厚度100mm/150mm/200mm/250mm/300mm
台面重量120Kg/m²@100mm厚, 140Kg/m²@200mm厚, 165Kg/m²@300mm厚 (≈)
调节方式自动定心
隔振方式三线摆杆、混合腔结构
阻尼方式微米级层流阻尼

测试数据:

减振效率:垂直:5Hz 时:91%;10Hz 时:94%,水平:5Hz 时:92%;10Hz 时:97%

三线摆测试数据1.png

静态振幅测试结果:0.00192

三线摆测试数据2.png

固有频率测试结果:垂直固有频率 1.40625Hz

三线摆测试数据3.png

水平固有频率 1.25Hz

三线摆测试数据4.png

产品选型表:

产品型号尺寸 (㎜)载荷 (Kg)支腿外径 (㎜)支腿数量
PLGQS-12081200x800x8008003004支撑
PLGQS-15091500x900x80014003004支撑
PLGQS-15101500x1000x80014003004支撑
PLGQS-16091600x900x80014003004支撑
PLGQS-18101800x1000x80014003004支撑
PLGQS-18121800x1200x80014003004支撑
PLGQS-20102000x1000x80014003004支撑
PLGQS-20122000x1200x80014003004支撑
PLGQS-20152000x1500x80014003004支撑
PLGQS-24122400x1200x80014003004支撑
PLGQS-24152400x1500x80020003004支撑
PLGQS-30103000x1000x80020003006支撑
PLGQS-30123000x1200x80020003006支撑
PLGQS-30153000x1500x80020003006支撑
PLGQS-35123500x1200x80020003006支撑
PLGQS-35153500x1500x80020003006支撑
PLGQS-40154000x1500x80025003008支撑
PLGQS-42154200x1500x80025003008支撑
PLGQS-48154800x1500x80025003008支撑
PLGQS-54155400x1500x800250030010支撑
PLGQS-60156000x1500x800250030010支撑

定制选项:

定制方式示意图定制说明
无磁定制

1815、1512.png

支持(台面)无磁和(台面支架)整体全无磁两种形式

左图为中电某所PLGZQ-1815全无磁精密型气浮隔振光学平台

非标准尺寸定制

非标尺寸光学平台.jpg

各种非标准型号尺寸均可定制

左图为2.7x1.5米阻尼隔振光学平台

异型结构定制

光学平台异型结构定制.png


非标准矩形台面等异型结构来图定制

各类刻度线定位标识

刻度线.png

刻度线和定位标识定制

*各种尺寸规格均可按客户需求定制。

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025-86550730