谱量光电研发制造的精密气浮隔振光学平台，能够满足精密负载对振动隔离需求。上面板采用优质高导磁SUS430不锈钢，台面内核为三层夹心式蜂窝结构，内核密度大幅度提高，具有优秀的硬重比和刚性，同时保证了较低的固有频率，具备行业较高的隔振效果。上台面采用精密磨削工艺，平面度可达≤0.05mm/㎡，表面粗糙度<0.6um，回旋打磨工艺清除毛边，达到无反射、哑光效果，面板具有M6阵列螺孔，易于固定光学元件。
气浮支架采用整体焊接工艺（四支撑或六支撑结构），半膜片式空气弹簧，采用进口三水平调节阀技术，反应灵敏，响应迅速，在超载偏重的实验条件下，能瞬间恢复初始的平衡状态。支撑腿内部为二级气室结构，气室间带有阻尼孔，气动元件全部采用德国FESTO产品，标配优质大功率超静音压缩机，整体结构保证平台有较高的稳定性。
技术参数：
| 参数名称 | 参数指标 |
|---|
| 平面度 | ≤0.05mm/m² |
| 表面粗糙度 | <0.6μm |
| 固有频率 | X方向: 1.2~2Hz, Y方向: 1.2~2Hz |
| 振幅 | <2μm |
| 螺孔间距 | 25mm |
| 孔距公差 | ±0.05mm |
| 螺孔规格 | M6（公制） |
| 螺孔公差 | ±0.03mm |
| 载荷能力 | 300Kg/m² |
| 台面厚度 | 100mm/150mm/200mm/250mm/300mm |
| 台面重量 | 120Kg/m²@100mm厚, 140Kg/m²@200mm厚, 165Kg/m²@300mm厚 (≈) |
产品选型表：
| 产品型号 | 尺寸 (㎜) | 载荷 (kg) | 支撑腿数量 | 支架宽度 (㎜) |
|---|
| PLGZQ-06 | 600x600x800 | 800 | 4 | 120x120 |
| PLGZQ-075 | 750x750x800 | 800 | 4 | 120x120 |
| PLGZQ-0906 | 900x600x800 | 800 | 4 | 120x120 |
| PLGZQ-1007 | 1000x700x800 | 800 | 4 | 120x120 |
| PLGZQ-1008 | 1000x800x800 | 800 | 4 | 120x120 |
| PLGZQ-1208 | 1200x800x800 | 800 | 4 | 120x120 |
| PLGZQ-1509 | 1500x900x800 | 1400 | 4 | 200x200 |
| PLGZQ-1510 | 1500x1000x800 | 1400 | 4 | 200x200 |
| PLGZQ-1609 | 1600x900x800 | 1400 | 4 | 200x200 |
| PLGZQ-1812 | 1800x1200x800 | 1400 | 4 | 200x200 |
| PLGZQ-2010 | 2000x1000x800 | 1400 | 4 | 200x200 |
| PLGZQ-2012 | 2000x1200x800 | 1400 | 4 | 200x200 |
| PLGZQ-2015 | 2000x1500x800 | 1400 | 4 | 200x200 |
| PLGZQ-2412 | 2400x1200x800 | 1400 | 4 | 200x200 |
| PLGZQ-2415 | 2400x1500x800 | 2000 | 4 | 200x200 |
| PLGZQ-3010 | 3000x1000x800 | 2000 | 6 | 200x200 |
| PLGZQ-3012 | 3000x1200x800 | 2000 | 6 | 200x200 |
| PLGZQ-3015 | 3000x1500x800 | 2000 | 6 | 200x200 |
| PLGZQ-3512 | 3500x1200x800 | 2000 | 6 | 200x200 |
| PLGZQ-3515 | 3500x1500x800 | 2000 | 6 | 200x200 |
| PLGZQ-4015 | 4000x1500x800 | 2500 | 6 | 200x200 |
| PLGZQ-4215 | 4200x1500x800 | 2500 | 8 | 200x200 |
| PLGZQ-4815 | 4800x1500x800 | 2500 | 8 | 200x200 |
| PLGZQ-5415 | 5400x1500x800 | 2500 | 12 | 200x200 |
| PLGZQ-6015 | 6000x1500x800 | 2500 | 12 | 200x200 |
定制选项：
| 定制方式 | 示意图 | 定制说明 |
|---|
| 无磁定制 | 
| 支持（台面）无磁和（台面支架）整体全无磁两种形式 左图为中电某所PLGZQ-1815全无磁精密型气浮隔振光学平台 |
| 非标准尺寸定制 | 
| 各种非标准型号尺寸均可定制 左图为2.7x1.5米阻尼隔振光学平台 |
| 异型结构定制 | 
|
非标准矩形台面等异型结构来图定制 |
| 各类刻度线定位标识 | 
| 刻度线和定位标识定制 |
*各种尺寸规格均可按客户需求定制。
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